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Shanghai Fengxianlinghai Industriepark 818
Shanghai Thinking Experimental Instrument Co., Ltd.
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Intelligentes grafisches Umkehrvakuumsystem/AmmoniakofenAnpasste Hintergründe
Bei der Belichtung kleiner Grafiken neigen wir dazu, Positivkleber zu verwenden, was bereits zuvor diskutiert wurde. Einer der Gründe dafür ist, dass der Positivkleber geeignet ist, die Dunkelfeldmaske als Loch zu verwenden. Die Version der Dunkelfeldmaske ist größtenteils mit Chrom bedeckt, da Chrom nicht so anfällig ist wie Glas, so dass es weniger Mängel gibt. Einige Maskenversionen werden jedoch verwendet, um Inselgebiete und nicht Löcher zu beleuchten, wie z. B. eine Grafik der Inselgebiete auf einer Metallschichtmaske. Leider erfordert eine Lichtgravur auf der Insel mit Positivkleber eine Version der Lichtfeldmaske, die leicht beschädigt werden kann.
Ein Verfahren zur Herstellung von Inselbereichen mit einer Version von Positivkleber und Dunkelfeldmaske ist die Umkehr des Bildes. Es verwendet die herkömmliche Methode der Dunkelfeldmaske (siehe Abbildung unten), und nach dem Ende der Belichtung ist die Grafik in der Gravure das Gegenteil der gewünschten Grafik, das heißt, wenn die Darstellung fortgesetzt wird, werden Löcher statt Inselbereiche erhalten.

Prozessstandard für intelligente grafische Umkehrvakuumsysteme/Ammoniakofen
Der Hauptschritt des grafischen Umkehrprozesses besteht darin, die beschichteten Wafer in ein intelligentes grafisches Umkehrvakuumsystem/Ammoniakaofen mit Ammoniakadampf zu platzieren. Ammoniakadampf durchdringt die Photogravie und ändert ihre Polarität. Der Wafer wird aus dem Vakuumofen entnommen und anschließend beleuchtet, um den gesamten grafischen Umkehrprozess abzuschließen. Der Effekt von Ammoniakbacken und Überflutungsbeleuchtung verändert die relative Auflösungsrate von Belichtungs- und Nichtbelichtungsbereichen und ermöglicht eine grafische Umkehr in den nächsten Abbildungsschritten. Dieser Prozess ermöglicht die gleiche Auflösung wie ein nicht-grafischer Umkehrprozess.