AMC-überwachung von Luftverschmutzungen

Perfekt.AMC-Überwachung von Luftverschmutzungen

Die Echtzeitüberwachung der Molekularluftverschmutzung (AMC) ist für den Halbleiterproduktionsprozess von großer Bedeutung.

AMC-Überwachung von LuftverschmutzungenSchnelle Überwachung, Alarm, extrem niedrige Konzentrationsmessung, breite Messbereiche, hohe Empfindlichkeit für mehrere Gase usw. sind eine der Anforderungen der Halbleiterindustrie. Tiefe UV-Photogravie-Prozess konzentriert sich besonders auf die Messung der Konzentration von Ammoniak, Amine, N-Methyl-Perroladon NMP, Säuren und anderen, wenn diese Gase mit der chemischen Verstärkung der Photogravie-Reflexion reagieren, wird die Qualität der Halbleitergeräte tief beeinflusst.

Traditionelle und alte Methoden verwenden meist indirekte Messanalysen. Zu diesen Methoden gehören Stoßstaubfilter, Ionenchromatografie und chemische Fluoreszenz, die zu langsam analysiert werden, zu kompliziert, teuer und ungenau sind.

CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectrum) - Prinzipien

Basierend auf dem Instrumentationsschema der CEAS-Technologie (Cavity Enhanced Absorption Spectrum) wird eine hochempfindliche Absorptionsmessung mit Nahinfrarot-Licht durchgeführt. Die Messkammer besteht aus einer Säulenform aus einer Reihe von hochreflektierenden mehrfach reflektierenden Linsen, die durch einen Solid State Calibrator (FSR = 2,00 GHz) gemessen werden, um die relative Laserwellenlänge zu erhalten. Um die Klarheit zu gewährleisten, wurde der Strahl, der ursprünglich außerhalb des Kamroskops der linken Messeinheit ausgestrahlt wurde, ignoriert.

Die erweiterte EP-Version ist mit einem Drucksensor und einem internen Temperaturregler integriert und verfügt über eine extrem stabile Messkammer, die Fehler durch Temperaturabweichungen, Druckänderungen usw. verhindert.

CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectrum) hat viele nachgewiesene Vorteile gegenüber der ersten Generation von CRDS (Cavity Declension Spectrum). Kurz gesagt, der Laserstrahl erfordert keine Resonanzkopplung in die Messkammer (z. B. der Strahl erfordert keine strenge Ausrichtung). Die Analyseinrichtungen und Systeme von DUKE zeichnen sich durch einfache Installation, mechanische Robustheit und robusten Schutz aus.