CF4 Licht- und Schallspektrogasanalysator

CF4 Licht- und Schallspektrogasanalysator

Testanforderungen:

Reinraum muss den Schadstoffgehalt kontrollieren. Die präzise, zuverlässige und wartungskostengünstige AMC-Kontrolle der reinen Raumgase kann die Produktionskapazität erheblich steigern.

CF4 Licht- und SchallspektrogasanalysatorZuverlässige Überwachung:

Der hochempfindliche DKG ONE-CF4 kann Schadstoffe in der Produktion schnell erkennen. Darüber hinaus gewährleistet die direkte Absorptionserfassung aufgrund ihrer Eigenschaft des nullen Hintergrunds eine hohe Stabilität auf lange Sicht.

Ultraempfindliches optisches Armstrahlmikrofon

Technische Anwendungen:

Der DKG ONE-CF4-Analyzer basiert auf der ultraempfindlichen Licht- und Schallspektrometodetektionstechnologie, die in Kombination mit einer Quantitative Cascade Laser (QCL)-Lichtquelle auf dem mittleren Infrarot-Spektrum-Absorptionsspitze von CF4 arbeitet. Diese Kombination bietet eine ausreichende Empfindlichkeit, um CF4-Überflusse in minimalen Konzentrationen ohne Verzögerung zu erkennen und gleichzeitig ein sehr hohes Maß an Stabilität zu gewährleisten. Die Neukalibrierung dauert mehrere bis mehrere Jahre und reduziert die Gesamthaltskosten erheblich.

Vorteile:

Präzise, zuverlässige und wartungskostengünstige Reinraumverschmutzungskontrolle

Schnelle Reaktionszeit, um plötzlichen Anstieg der Konzentration zu erfassen

Unabhängiges Betriebssystem mit eingebauter Gasaustauschpumpe

Keine Verbrauchsmaterialien oder Chemikalien

Kurze Lichtreichweite und eine einzige Punktkalibrierung ermöglichen außergewöhnliche dynamische Messreichweite

Direkte Absorptionsmessung ohne Drift

Lange Kalibrierungsintervalle (bis zu mehreren Jahren)

Hohe Selektivität, frei von Acetaldehyde und anderen VOC

Merkmale:

Hochselektive Überwachung der Spuren von CF4

Unterscheidungsgrenze (LoD) unter 0,1 ppb

Die Reaktionszeit kann von 3 Sekunden bis 3 Minuten eingestellt werden

Breiter Dynamikbereich und Betriebsstabilität

Keine Verbrauchsmaterialien

Niedrige Probenmenge

Integriertes Gasaustauschsystem

Lange Nachkalibrierungsintervalle (mehrere Monate)

Intuitive Benutzeroberfläche

Integriertes Display für die digitale oder lineare Anzeige der Ergebnisse

Fernbedienbar über das LAN

Gehäuseoptionen:

Echtzeit-Online-Analyse

Der DKG ONE-CF4 bietet dem Benutzer eine einfache und intuitive Benutzeroberfläche mit einem hochauflösenden Display und einem Drehknopf.

Portable Bedienung

Die optionale tragbare Außenkasse eignet sich für die Erkennung von vorhersehbaren Leckbereichen.

Mobile Integrationslösungen

Mehrere DKG ONE-CF4-Einheiten können in einem Überwachungssystem integriert werden.

Technische Grundsätze

Arbeitsprinzip: Infrarot-Schallspektrum

Ultraempfindliches optisches Mikrofon, basierend auf einem mikromotorischen Armsensor, für die Messung der mikroskopischen Bewegungen des Armstrahls in Kombination mit einem Laserinterferometer

Lichtquelle: Verteilter Feedback-Quanten-Kaskadenlaser

Probenpooltemperatur stabil bei 50 °C

Prüfparameter

Reaktionszeit: Typischerweise von 3 Sekunden bis 3 Minuten abhängig von der Kanalintegralzeit (C.I.T.) und dem Gaswechselzyklus

Testgrenze: 0,1 ppb

Dynamischer Messbereich: Typische Stufe 5 (100.000-fache Messgrenze)

Wiederholbarkeit: weniger als 1 % der Messwerte bei Standardkonzentrationen unter Arbeitsbedingungen

Genauigkeit: Abhängig von der Genauigkeit der Standardgaskonzentration, typischerweise 2 bis 5 %

Temperaturstabilität: keine Auswirkungen im Temperaturbetriebsbereich

Druckstabilität: Kein Einfluss im Druckbereich

Allgemein

19" 3 U Industriegehäuse für alle Tisch- oder Rackmontage

尺寸： 48,4 cm W x 13,9 cm H x 44 cm D (19,1 in W x 5,5 in H x 17,3 in D)

Gewicht: ca. 13 kg

Embedded-Computer mit eingebautem 7" Frontmonitor

Datenspeicherkapazität für eine kontinuierliche Überwachung von mindestens einem Jahr

Gesamtvolumen: 10-30 ml

Die hintere Platte verfügt über vier Gasanschlüsse, zwei für die Probenahme, mit einem Staubpartikelfilter

Stromversorgung:

Eingangsspannung: 100 bis 240 VAC, 50 bis 60 Hz

Eingangsleistung: 100 bis 200 W (je nach spezifischen Anforderungen)

Kommunikation: Ethernet, USB

Der DKG ONE-CF4 kann über ein Smartphone, Tablet, Computer oder ein anderes DKG ONE-CF4 (in Kürze) ferngesteuert werden

Umwelt

Betriebsbedingungen

Temperaturbereich: 0 ℃ ~ 49 ℃

Feuchtigkeit: ohne Kondensation

Druck: 750 bar bis 1050 mbar

Staub- und Wasserschutz: IP20 (IEC 529)

Lagerbedingungen

Temperaturbereich: -20 ℃ ~ + 60 ℃

Probengasbedingungen

Temperaturbereich: 0 ℃ ~ 49 ℃

Feuchtigkeit: keine Kondensation, maximale relative Feuchtigkeit von 80% bei Temperaturen bis 35 ° C,

Linearer Rückgang auf 35 % bei Temperaturen von 49 °C

Druck: 750 mbar bis 1050 mbar

Luftstrom: ca. 1L/min

Partikel < 1 μm

Standards:

Erfüllt die Niederspannungsrichtlinie 2014/35/EU, EMV-Richtlinie 2004/108/EG und ROHS 2-Richtlinie 2011/65/EU