Der Termofisher

FEI ist ein führendes Unternehmen für die Herstellung und den Betrieb einer Vielzahl wissenschaftlicher Instrumente. Zu seinen Produkten gehören Elektronen- und Ionenstrahlmikroskope sowie zugehörige Produkte, die eine Vielzahl von Anwendungen im Nanoskala in verschiedenen Branchen erfüllen können: Industrie und Theorie Materialforschung, Life Sciences, Halbleiter, Datenspeicherung, natürliche Ressourcen und vieles mehr.
Weltklasse-Mikroskopie-Lösungen für die globale Nanotechnologie-Gruppe.
Mit seiner 60-jährigen Geschichte der technologischen Innovation und seiner Branchenführerschaft wurde FEI zum DualBeam für Transmittionselektronenmikroskope (TEM), Scan-Elektronenmikroskope (SEM) und die Integration von SEM und fokussierten Ionenstrahlen (FIB). ™ Instrumente und Leistungsstandards für spezielle fokussierte Ionenstrahlinstrumente für Präzisionsschneiden und -bearbeitung mit hoher Geschwindigkeit. Das FEI-Bildgebungssystem ermöglicht eine Auflösung auf der Ebene AE (E: Zehntel eines Nanometers) im Bereich der dreidimensionalen Charakterisierung, Analyse und Modifizierung/Prototypierung.
FEI NanoPorts hat Standorte in Shanghai, China, Portland, Oregon, USA, Tokio, Japan, Eindhoven, Niederlande und der Tschechischen Republik und sind alle Exzellenzzentren. Hier können Wissenschaftler, Forscher und Ingenieure mit der direkten Hilfe von FEI-Anwendungsexperten eine erstklassige Mikroauflösung erleben. Das Unternehmen beschäftigt fast 1.800 Mitarbeiter und betreibt Vertrieb und Service in über 50 Ländern weltweit.
Scan-Elektronenmikroskop (SEM)
Der Vergrößerungsbereich des Scan-Elektronenmikroskops kann von der Beobachtungsskala des optischen Mikroskops bis hin zu den Nanomarmen erweitert werden und ist eine geeignete Wahl für die Prüfung der Materialform. Das FEI-Scan-Elektronenmikroskop (SEM) scannt die Oberfläche der Probe mit einem genau fokussierten Elektronenstrahl und erzeugt ein Bild, indem es die Ergebnisse der Elektronenstrahl-Probe-Interaktion mit verschiedenen Detektoren erkennt. FEI SEM kann sowohl im Hochvakuum als auch im Niedervakuum-Modus funktionieren und kann sowohl mit sekundären Elektronendetektoren, die Oberflächeninformationen liefern, als auch mit Rückstreuungsdetektoren, die Komponenteninformationen liefern, und einer Vielzahl anderer Detektoren verwendet werden.
Magellan ™ XHR Scan-Elektronenmikroskop
Mit dem Magellan XHR-Scan-Elektronenmikroskop (SEM) können Wissenschaftler und Ingenieure schnell mikroskopische Welten sehen, die bisher nicht sichtbar waren, wie dreidimensionale Oberflächenbilder mit unterschiedlichen Winkeln mit einer Auflösung von weniger als einem Nanometer (etwa 10 Wasserstoffatome im Durchmesser). Vor allem kann der Magellan XHR SEM bei ultraniedriger Elektronenstrahlenergie abgebildet werden, um Bildverformungen zu vermeiden, die durch das Eindringen von Elektronenstrahlen unter der Materialoberfläche verursacht werden.
Quanta ™ Scan-Elektronenmikroskop
Das Quanta Scan-Elektronenmikroskop ist ein leistungsstarkes, vielseitiges Elektronenmikroskop mit drei Betriebsmodus (Hochvakuum, Niedervakuum und Ring-Scan (ESEM)) und ist eines der Scan-Elektroskope mit der größten Anzahl an Probentypen. Alle Quanta SEM-Systeme sind mit Analysesystemen wie Energiespektrometern, Röntgenspektrometern und Elektronendiffraktionsanalysen ausgestattet. Darüber hinaus ist das Feld-Emissionssystem (FEG) mit einem Scan-Transmission-Detektor (S/TEM) ausgestattet, um die Bildgebung von hellen und dunklen Feldproben zu ermöglichen.
Nova ™ NanoSEM Scan-Elektronenmikroskop
Die Scan-Elektronenmikroskope (SEM) der Serie Nova verfügen über eine geringe Vakuumfunktion. Das Nova-System umfasst EBIC, Gefrierproben, STEM, EDS, WDS und EBSD.
Inspect ™ Scan-Elektronenmikroskop
Die Inspect-Serie verfügt über zwei Scan-Elektronenmikroskope, eines mit Wolframmdrahten und eines mit FEG, die beide für konventionelle hochauflösende Bildgebung verwendet werden können.
Transmittionselektronenmikroskop (TEM)
Das FEI-Transmissionselektronenmikroskop (TEM) ermöglicht einen vollständig integrierten, automatisierten Betrieb und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, die eine ultrahohe Auflösung in der Klasse AE erfordern. Das Transmissionselektronenmikroskop beleuchtet ultradünne (0,5 µm oder kleiner) Proben mit Elektronenstrahlen und zeichnet ein Bild auf, indem es Elektronen erkennt, die nach der Durchdringung der Probe an ein elektromagnetisches Linsensystem gelangen, das sich auf einen Fluoreszenzbildschirm, einen Lichtsensor oder eine Digitalkamera fokussieren und vergrößern kann. Die Vergrößerung des Transmissionselektronenmikroskops kann bis zu einer Million Mal größer sein.
Titan ™ Scan-/Transmissionselektronenmikroskop
Die FEI Titan S/TEM Produktpalette umfasst die leistungsstärksten kommerziellen S/TEM der Welt: Titan 80-300, Titan Krios ™、 Titan3 ™ und Titan ETEM (Environmental TEM). Alle Titans nutzen eine revolutionäre Elektronische Brille von 80 bis 300 kV, um die Entdeckung und Erkundung auf atomarem Maßstab in einer Vielzahl von Materialien und Betriebsbedingungen durch TEM- und STEM-Modelle durchzuführen.
Tecnai ™ Transmittionselektronenmikroskop
Die Transmissionselektronenmikroskop-Serie von Tecnai wurde entwickelt, um den Bedarf an hochaufklebender Bildgebung in der Materialwissenschaft, der Biowissenschaft und der Forschung zu weichen Substanzen, der Halbleiter- und Datenspeicherindustrie sowie in führenden Multi-User-Laboren weltweit gerecht zu werden.
DualBeam ™ Geräte (FIB/SEM)
Kombiniert mit fokussiertem Ionenstrahl und Scan-Elektronenmikroskop.
Die DualBeam-Instrumente von FEI kombinieren die Fräsfunktion eines fokussierten Ionenstrahlwerkzeugs mit der Bildgebungsfähigkeit und der Auflösung eines Scan-Elektronenmikroskops. Diese hochmodernen Geräte sind die bevorzugte Lösung für dreidimensionale Mikroskopie und Materialcharakteristische Analysen, industrielle Fehleranalysen und Prozesssteuerungsanwendungen. Diese Geräte sind darauf ausgelegt, eine integrierte Probenbereitung und Spuranalyse im 1 nm-Maßstab für die Produktion von Halbleitern und Datenspeichern mit hoher Leistung sowie für Materialwissenschaften und Life Sciences-Labore bereitzustellen.
Quanta ™ 3D DualBeam ™
Es eignet sich für die Charakterisierung und Analyse von 2D- und 3D-Materialien. Quanta ™ Es gibt drei SEM-Bildmodus (Hochvakuum, Niedervakuum und Umgebungs-SEM) und die beobachtbare Probe ist die am weitesten verbreitete in jedem SEM-System. Die integrierte Focused Ion Beam (FIB) Funktion erhöht die Schnittbedienungsfähigkeit und erweitert den Anwendungsbereich weiter. Der ESEM-Modus ermöglicht in situ Untersuchungen des dynamischen Verhaltens verschiedener Materialien unter unterschiedlichen Bedingungen relativer Feuchtigkeit (bis zu 100%) und Temperatur (bis zu 1500°C).
Helios NanoLab ™ DualBeam ™
Helios NanoLab verfügt über eine hervorragende Bildgebungskapazität durch eine neue Elektronenstrahlspiegel, die mit einer kompletten Reihe von Detektoren und einer neuen Bildkette ausgestattet ist, die eine ausgezeichnete Linie und Auflösung erzeugt. Gleichzeitig ermöglichen die ausgezeichneten Eigenschaften des fokussierten Ionenstrahls (FIB) schnelle Fräse- und Probenvorbereitungsanwendungen.
Versa ™ 3D DualBeam ™
Mit dem starken historischen Hintergrund und dem erfolgreichen DualBeam-, Low-Vacuum- und ESEM-Know-how, das von FEI entwickelt wurde, führt FEI die aktuell funktionsfähigsten DualBeam-Instrumente ein. Versa 3D bietet Ihnen optimale Bild- und Analyseleistungen, so dass auch die anspruchsvollsten Proben große Mengen an 3D-Daten erhalten können.
Fokussiertes Ionenstrahlgerät (FIB)
Mängel unter den Oberflächen von Materialien und Geräten aufdecken
Ein fokussiertes Ionenstrahlsystem (FIB) ist ein Werkzeug, das sehr ähnlich ist wie ein fokussiertes Elektronenstrahlsystem wie ein Scan-Elektronenmikroskop. Diese Systeme lassen den Ionenstrahl auf die Probe weisen, und der Ionenstrahl interagiert, um einige Signale zu erzeugen, die ein hochvergrößertes Probenbild erzeugen, indem diese Signale an die Position des Ionenstrahls zugeordnet werden. Die Masse der fokussierten Ionen ist vielfach größer als die Masse der Elektronen, so dass diese Ionen, wenn sie auf ein Material treffen, Atome auf der Oberfläche des Materials spreuen. Darüber hinaus können gasförmige Chemikalien in die Nähe der Materialoberfläche eingespritzt werden und anschließend Material abgelegt oder je nach Material selektiv geätzt werden.
Vion Plasma FIB-Geräte
Das Vion PFIB Plasma FIB ist ein Instrument mit hoher Präzision und hoher Schneid- und Fräsgeschwindigkeit. Seine Fähigkeit zur selektiven Fräsung im Fokussbereich. Darüber hinaus kann PFIB selektiv Leiter und Isolatoren mit Mustern absetzen.
V400ACE ™ Fokussierte Ionenstrahlgeräte
Das V400ACE Focused Ion Beam (FIB) System integriert die neuesten Entwicklungen in der Ionenspegelkonstruktion, der Gasförderung und der Enddetektionstechnologie, um eine schnelle, effiziente und kostengünstige Bearbeitung fortgeschrittener integrierter Schaltungen zu ermöglichen. Die Schaltungsbearbeitung ermöglicht es Produktdesignern, den Leitungspfad in Stunden zu modifizieren und modifizierte Schaltungen zu testen, ohne Wochen oder Monate damit aufzuwenden, neue Masken zu generieren und neue Chips zu bearbeiten.
V600 ™ and V600CE ™ Fokussierte Ionenstrahlgeräte
Die Serie V600 bietet eine komplette Lösung für die Bearbeitung und Inbetriebnahme allgemeiner Anwendungen. Auf dem erfolgreichen Einsatz des FEI FIB 200 im Feld basiert der V600 FIB auf der Flexibilität und Leistung der nächsten Generation, die für effektive Querschnittsbetriebe, Bildgebung und Probenvorbereitung im Transmissionselektronenmikroskop (TEM) erforderlich sind. Das V400ACE Focused Ion Beam (FIB) -System integriert die neuesten Entwicklungen in der Ionenspegelkonstruktion, der Gasförderung und der Enddetektionstechnologie, um eine schnelle, effiziente und kostengünstige fortschrittliche integrierte Schaltungsbearbeitung an 65 nm-Technologieknoten oder feiner zu ermöglichen.
Professionelle Produkte
Maßgeschneiderte Produkte für professionelle Anwendungen
Vitrobot ™ Mark IV
Der Vitrobot Mark IV ist eine vollautomatische Verglasungsanlage für das Schnellgefrieren von wasserbasierten (gliogenen) Suspensionen, die den Anforderungen moderner wissenschaftlicher Forschung gerecht wird. Die neue Touchscreen-Benutzeroberfläche ist leistungsstark und einfach zu bedienen, während die automatische Einrichtung eine qualitativ hochwertige, wiederholbare Probenfrierung und eine hohe Probenproduktion gewährleistet.
MLA und QEMSCAN
QEMSCAN und MLA sind professionelle automatisierte mineralogische Lösungen zur Abbildung und Quantifizierung von Merkmalen, die eng mit kommerziellen Anwendungen in der Exploration, Abbau und Verarbeitung natürlicher Ressourcen (Mineralien, Kohle, Öl und Gas) in der Bergbau- und Energieindustrie verbunden sind. Diese Technologien ermöglichen die Vernetzung zwischen Meter und Nano, was für Geologen, Mineralogen und Metallurgen von entscheidender Bedeutung ist, die an der Charakterisierung von Mineralien, Felsen und künstlichen Materialien beteiligt sind.
CLM+ Full Wafer DualBeam ™
Die steigende Nachfrage nach hochauflösenden Bildern für Prozesssteuerungs- und Fehleranalysegeräte treibt die Nachfrage nach TEM-Bildgebungstechnologien weiter an. Die FEI CLM+ eignet sich besonders für die Herstellung von kritischen TEM-Folien für die in-situ-Entformung und Bildgebung. Die Sidewinder-Ionenglase ermöglichen die Herstellung von hochproduktiven Folien, während ihre hervorragende Niederdruckleistung eine schädigungsfreie Fräsfläche gewährleistet, die für präzise TEM-Bildgebung und EDS-Analysen erforderlich ist. Eine unvergleichliche Schnittpositionierung sorgt für eine genaue Erfassung der gewünschten Zieleigenschaften.