DMD Lasergraviermaschine

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Desktop Miniaturisierung $ r $ n $ r $ n Maskenlose Lithographie ist eine Art von Lithographie-Technologie, die keine herkömmliche physische Maskenversion zur Übertragung von Schaltungsgrafiken verwendet, sondern durch einen computergesteuerten hochpräzisen Strahl direkt auf das Sensormaterial scannt, um die gewünschte feine Grafik zu bilden. Derzeit in der Mikroelektronikherstellung, Mikronanoverarbeitung, MEMS、LED、 In Bereichen wie Biochips gibt es eine Vielzahl von Anwendungen.

Produktdetails

Das ZML10A ist ein innovatives Maskenloses Photograviergerät für Desktop-Klasse, das speziell für die Anforderungen an effiziente und präzise Mikronanobearbeitung entwickelt wurde. Das Gerät verwendet eine LED-Lichtquelle mit hoher Leistung und hoher Gleichmäßigkeit und die Kombination mit DLP-Technologie, um die Gelb- oder Grünlicht-geleitete Belichtungsfunktion zu erreichen, um wirklich "gesehen wie gewonnen" zu erreichen, was die Bedienungskomfort und die Prozesskontrollbarkeit erheblich verbessert. Die optische Struktur und die hochpräzise Linearmotorverschiebung gewährleisten Belichtungsgenauigkeit und wiederholte Positionierbarkeit, während ein CCD-Kamera-Feld-zu-Feld-Autofokusssystem die Bildqualität und die Prozessstabilität weiter optimiert. Die Geräte unterstützen die Schaltfunktion von Elektroobjektiven und die aktive Laserfokussierung, um den Anforderungen verschiedener Anwendungsszenarien flexibel gerecht zu werden. Die kompakte Miniaturisierung des Desktops spart nicht nur Platz, sondern ist auch einfach im Labor oder in der Produktionsumgebung einzusetzen. Darüber hinaus ist der ZML10A mit einer intuitiv benutzerfreundlichen Softwareoberfläche ausgestattet, die die Betriebsschwelle erheblich senkt, sodass auch Anfänger schnell anfangen können. Ob bei der Herstellung von Supermaterialienstrukturen, Elektrodenmustern oder komplexen Mikro-Nanostrukturen wie Microfluidics-Chips, der ZML10A bietet zuverlässige Unterstützung und ist die ideale Wahl für Forscher und industrielle Anwender.

• Technische Merkmale

Desktop Miniaturisierung

▲ Hochleistungs- und gleichmäßige LED-Schriftlichtquelle

Gelbes / grünes Licht führt die Belichtung, was gesehen wird

CCD-Kamera-Bild-zu-Bild-Autofokus

▲ Hohe Präzision Linearmotor Verschieber

▲ Einfach zu bedienende Software-Schnittstelle

• Lichtweg weg von Strukturdiagramm

DMD激光直写光刻机

• Hauptindikatoren

Schlüsseltechnische Indikatoren
Zentrale Wellenlänge der UV-Lichtquelle	405 nm
Belichtungsgleichmäßigkeit	90%
Mindestlinienbreite	0,5 um
Einzelbeschreibungsfläche	0,6 * 0,4 mm (@ 0,5 um)
Schreibgeschwindigkeit	3 mm ^ 2 / min (@ 0,5 um)
Konfiguration	Basisversion	Professionelle Ausgabe
Lichtquelle	Licht: 405nm
DMD-Chips	Der DLP6500
Einzelbelastungsfläche	0,6 * 0,4mm (@0.5um), 1,2 * 0,8mm (@0.8um) 2,4 * 1,6 mm (@ 1,5 um), 12 * 8 mm (@ 8 um)
Kamera	Große Zielmikrokamera (Unterstützung der Größenmessung)
Genauigkeit	1um	0,7 um
Schreibgeschwindigkeit	3mm² / min (@0.5um)	20mm² / min (@0.5um)
Sporttisch	Hochpräziser Linearmotor (wiederholte Positionierungsgenauigkeit ± 0,5 um) Gleichstellmechanismus, manueller Drehtisch	Hochpräziser Linearmotor (wiederholte Positionierungsgenauigkeit ± 0,5 um) Gleichstellmechanismus, elektrischer Drehtisch
Objektivumsetzer	Handglaswechsel	Elektro-Objektivwechsel
Fokussierungsmodul	CCD-Bild autofokussieren	Aktive Laserfokussierung
Unterstützt Siliziumgröße	4 Zoll	8 Zoll

Anwendungsfälle

DMD激光直写光刻机

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