DuPont Erosionsflüssigkeit

Nach über 200 Jahren unermüdlicher Innovation geht DuPont in ein neues Zeitalter der Entdeckung. Unsere Gemeinschaft von Forschern, Ingenieuren, Visionären und allen Partnern arbeitet Tag für Tag zusammen, um Möglichkeiten in reale Produkte und Lösungen zu verwandeln, die den Erfolg der menschlichen Gesellschaft fördern. Erfahren Sie, wie sich DuPont engagiert, eine bessere Welt zu schaffen.

Eigenschaften:

Integrität des Metallstapels von Zui Jia entwickeln

"Verbesserte" Breitfensterverarbeitung

Verstärkte Entfernung von Ätzrückständen

Reinigung der Maske reduziert chemische Rückstände

Spezifikationen der ULSI-Klasse*

Niedrige Verdunstungsgeschwindigkeit bei Betriebstemperatur

Anwendung:

Anwendung EKC270 ™ Ätzrückstände werden in der Halbleiterindustrie weit verbreitet, um kritische Reinigungsanforderungen zu erfüllen

MEMS-Geräte von hoher Tiefe bis Breite 100von μm+Alle Phasen der Integration von bis zu 70 nm in DRAM

Im Folgenden sind die häufigsten Anwendungen aufgeführt:

• Kontakt Reinigung

• Metalldrahtreinigung

• TSV tiefe Silizium Piercing Reinigung

• Wolfram-Linienreinigung

• Polyamidreinigung

• Pad Reinigung

• MEMS Reinigung