Wasseraufbereitungsverdampfungsmaschine Programmgesteuerte Kupplungsmittel Vakuumbeschichtungsmaschine

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Wasserfobe Behandlung Verdampfungsmaschine Programmgesteuerte Kupplungsmittel Vakuumbeschichtungsmaschine durch die Kontrolle der Arbeitstemperatur des Behandlungsprozesses, der Verarbeitungszeit, der Aufrechterhaltungszeit bei der Behandlung und anderer Parameter kann eine Kupplungsschicht (HMDS) gleichmäßig auf der Siliziumflatte und der Substratoberfläche beschichtet werden, den Kontaktwinkel des Substrats verändert, die Menge an Photogravierkleber reduziert und die Haftung von Photogravierkleber und Siliziumflatten verbessert.

Produktdetails

Hydrophobe Behandlung Verdampfungsmaschine Programme Kontrolle der Rolle von Kupplungsmittel Vakuumbeschichtungsmaschine

Durch Arbeitstemperatur, Bearbeitungszeit und BearbeitungszeitDie Steuerung anderer Parameter ermöglicht eine gleichmäßige Beschichtung einer Kupplungsschicht auf der Silizium- und Substratoberfläche (von HMDS).ÄndernJa.UntergrundderDer Kontaktwinkel verringert die Verwendung von Photogravierkleber und verbessert die Haftung von Photogravierkleber und Siliziumfliechen.

Einhaltung der einschlägigen nationalen Standards, Industriestandards, lokalen Standards und anderen Standards und Normen

Erfüllung der Kriterien:Qualitätssystemstandard ISO 9001 sowie die entsprechenden nationalen Standards, Industriestandards und Spezifikationen von Geräteherstellern.

Hydrophobe Behandlung Verdampfungsmaschine Funktionen von Kopplungsmittel-Vakuumbeschichtungsmaschinen

Nummer	Funktion	technische Parameter
1.	Größe	Innere Größe (Tiefe)* Breite * Höhe):≥300×300×300 (mm)Mehrere Größen erhältlich，Das Gerät verfügt über ein kleines integriertes Design, das auf den Desktop platziert werden kann.
2.	Material	Außenkasten mit hochwertigem Kaltwalzplattenspritzen, Innenkasten mit Edelstahl 316L，Anzahl der Regalschichten≥2Schichten.
3.	Temperaturbereich	RT+10-200℃，Volatilität≤±0.5.
4.	Sauberkeit	class 100， Ausrüstung mit staubfreiem Material, geeignet für die Reinigung der Umgebung zwischen 100 Lichtstufen.
5.	Stromversorgung und Gesamtleistung	AC 220V ± 10% / 50HZ，Gesamtleistung：2.5KW.
6.	Steuergeräte	Mensch-Maschine-Schnittstelle，SteuerbarHMDS-Flüssigkeit hinzugefügtZeit.
7.	Vakuumpumpen	Anti-Öl-Rotations-Vakuumpumpe oder ölfreie Pumpe,真空度：≤ 1torr，
8.	Schutzeinrichtung	Überhitzungsschutz, Leckageschutz usw..
9.	HMDS meldet Polizei	AusgestattetHMDS Echtzeit-Überwachungsgerät mit Alarmfunktion.

Das System eignet sich nicht nur für die herkömmliche Herstellung von integrierten Schaltkreisen auf Siliziumbasis, sondern auch für Halbleiter der dritten Generation (wie SiC, GaN), Entstehende Bereiche wie Verpackungen (TSV, Fan-Out) und Micro-LED MassenvertragungDie Fähigkeit, die Haftung zu fördern, zeigt ebenfalls ein großes Potenzial. Eine stabile Oberflächenbehandlung ist dasGrundstein der technologischen Industrialisierung.Für die Herstellung von Halbleiterwafern (Foundry), die Abteilung für Prozessforschung und Entwicklung von Unternehmen für integrierte Schaltkreisdesigns, MEMS-Hersteller, Maskenhersteller, Hersteller von Verbindungshalbleitern (z. B. GaN, SiC), Forschungsinstitute und Mikronanobearbeitungslabore an Universitäten geeignet.Hersteller von Verpackungen (AP), LED-Hersteller, Micro-Fluid-Chip-Forschungs- und Entwicklungsunternehmen usw.

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